RF電源・マッチングボックス・RPSの修理、メンテナンス。国内対応で短納期、低価格を実現

TOP > 電源事業

電源修理・メンテナンス事業

 高い技術を持ったエンジニアが修理・メンテナンスを行います。韓国のEQ BESTECH社と技術提携しており、エイムにはEQ BESTECH社より出向してきたエンジニアが常駐。韓国での教育も実施し日々技術の向上に努めております。
「敏速な対応」「信頼できる技術」「競争力のある価格設定」でお客様のご期待にお応えいたします。

受入れ


お客様からの修理依頼品を一つ一つ確認し、受入致します。

受入検査


電源の症状を確認し、分解及び各部品の良否判定を行い、故障個所を特定致します。検査内容を基に修理可否の判断を致します。

お見積り


御見積書及び受入検査書を作成しご提出致します。
その後、お客様より修理継続の指示を頂いてから修理着手致します。

修理


不良部品の交換、配線の補修、はんだの補修等を実施致します。
その後、出力前確認として組立状態の確認を行います。

出力検査


パワーテストにて、出力の確認及び校正を行います。
エージングテストにて、12時間の耐久テストを実施致します。
(機種により内容は異なります)

出荷検査


組立状態、導通チェック、付属品等の確認を行い、梱包致します。
検査成績書及びサービスレポートの作成を行います。

出荷


指定された場所へ出荷・納品致します。検査成績書及びサービスレポートをご提出致します。



RF電源・マッチングボックス・RPS 修理フローチャート

RF電源・マッチングボックス 修理フローチャート

●RF電源 取扱メーカー一覧

 ADTEC AE ASTEX COMDEL ENI DAIHEN KYOSAN パール工業 ETO 他

●マッチングボックス 取扱メーカー一覧

 AMAT AE LAM ENI TRAZAR MATTSON RFPP ADTEC DAIHEN TCP 他

●RPS 取扱メーカー一覧

 MKS 他

こちらより詳細一覧(PDF)がダウンロードできます。

販売品目についての詳細はお問合せください。
詳細一覧(PDF)

   

修理保証とトラブル対応

1.保証期間:原則として弊社出荷日より3ヶ月または6ヶ月以内。
(保証期間満了日以降に装置搭載され、正常に動作されなかった場合は、弊社営業担当まで御連絡下さい)

2.保証内容:前回の修理における部品不良または作業不良に起因する同一箇所・同一故障について無償修理対応致します。
ただし、ご指摘の不具合が再現しなかった場合の診断費用は有償になります。

3.保証期間内であっても次のような場合には、有償修理になります。
(イ)保証書が御提示いただけない場合。
(ロ)弊社の交換推奨部品に対し、交換を実施しなかった場合。
(ハ)ご使用上の誤りによる故障または損傷。
(ニ)納入後の輸送・移動・設置時の落下・衝撃及び輸送上の故障または損傷。
(ホ)火災・地震・水害・落雷・その他の天災などによる故障または損傷
(ヘ)接続する機器の故障により誘発する故障または損傷。
(ト)汚れ、異物付着等による故障または損傷。
(チ)弊社以外で分解・改造・調整・部品交換がされた場合。
(リ)シリアル番号が確認できず、弊社により修理された品と確認できない場合。
(ヌ)その他、弊社の責任範囲外と判断される場合。

4.出張修理を行った場合には出張に要する実費を申し上げる場合がございます。

トラブル対応
各種装置に修理品を搭載し、実プロセス実行下で不具合が発生した場合は、ユーザーの要請により、トラブルの原因が装置側か、修理品側にあるのか調査の為に、プロセス等も充分理解した技術者の出向も可能。



修理可能品リスト

修理可能品リスト ( RPS )

MANUFACTURER VOLUME MODEL
MKS 2L AX7657
AX7657-2
AX7657-5
FI20620
FI20620-1
AX7650
AX7651
AX7651-2
3L AX7670
AX7670-02
AX7670-06
AX7670-12
AX7670-16
AX7670-21
AX7670-60
6L AX7685
AX7685-01
FI80131
FI80131-C
FI80133
8L FI80132
15L FI80146
FI80146-1
AX7640-01
AX7645 PS-01
AX7645 RH-01
22L AX7635-02
AX7635-03


修理可能品リスト ( RFジェネレーター )

MANUFACTURER MODEL
AD- TEC AX-500
AX-1000
AX-1000Ⅱ
AX-1000AMⅡ
AX-2000
AX-2000EUⅡ
AX-2000S
AX-3000
AX-5000
AE APEX-1513
APEX-5013
APEX-8013
APEX-10013
HFV-8000
PDX 900-2V
PDX-1400
PDX-2500
PDW 2200
RFDS
RFDS-A
RFDS-1250
RFG-1250
RFG-2000
RFG-2000-2V
RFG-3000
RFG-3001
RFG-5500
COMDEL CPS-100/13
CPS-1000/13
CPS-1000M/13
CPS-1001/13
CPS-1001S/13
CPS-1001/60
CPS-1001S/60
CX-600
CX-600AS
CX-600S
CX-600S/13
CLF-5000
DAIHEN DRFS-5SA
DRFS-10SB
MFG-15SA
MFG-20SA
MFG-20SA1
MFG-20SA2
MFG-20SA3
RGA-10A
ENI ACG-6B
ACG-10T
GHW-25
GHW-25A
GMW-25
GMW-25A
GMW-50A
LPG-12A
NOVA-50A
OEM-6
OEM-6A
OEM-6AM-1B
OEM-6J
OEM-650A
OEM-12
OEM-12A
OEM-12A-6
OEM-12B-01
OEM-12B-02
OEM-12B-03
OEM-12B-06
OEM-12B-07
OEM-12B3-02
OEM-12B3-08
OEM-12L
OEM-1250
OEM-2000
OEM-25A
OEM-25B
OEM-25N
OEM-28B-01
OEM-28B-02
OEM-28B-04
OEM-50
OEM-50N
PL-2HF
PL-2HFN
PL-3G
KYOSAN RFK20Z
RFK30
RFK30Z
YFK30Z
RFK50Z
RFK75Z
YFK75Z
Pearl Kogyo CF-500-400K
LP-150-800K
LP-500-800K
LP-2000-800K
M-30AW2VD-27M
RP-50-2M
RP-150-2M
RP-300-2M
RP-300-1356
RFPP(AE) LF-5
LF-5S
LF-10
LF-10A
RF-5S
RF-10S
RF-20MWC
RF-20S
RF-30S
RF-30SWC
RF-50S


修理可能品リスト ( マッチングBOX )

MANUFACTURER MODEL
AD-TEC AMV1000-G5E  
AMV1000-MAT  
AM-1000(S)  
AM-2000(S)  
AE AZX-63  
BIAS MATCH  
DPS DOME Match 3155086-002
MERCURY 3013  MATCH  
AMAT CVD RF Match 0010 - 09750
DPS RF Match 0010 – 36408
HE Oxide RF Match 0010 - 30686
HE Metal RF Match 0010 - 30687
MCVD RF Match 0010 - 04137
MCVD RF Match 0010 - 04138
Metal RF Match 0010 – 30094
Metal RF Match 0010 - 36114
Oxide RF Match 0010 - 36162
Poly RF Match 0010 - 09416
PVD RF Match 0010 - 20524
Vectra RF Match 0010 -13622
ASTECH ATL-100RA/DT2  
DAIHEN AMN-30C11  
MFM-20SA2  
RMN-6C  
RMN-30  
RMN-30A1B  
RMN-30D2  
RMN-50  
RMN-75A  
RMN-75A1  
ENI(MKS) ENI RF Match MHW-25-04
ENI RF Match MW-20LD-HN
ENI RF Match MWD-25LD
ENI RF Match MWH-25-04
ENI RF Match MWM-25-02X
KYOSAN 30TY2D  
MBK20  
LAM TCP BOTTOM Match 853-250001-024
TCP MINI Match 853-015130-002
TCP TOP RF Match 853-800120-101
TCP TOP RF Match 853-032294-002
MATTSON RF-1000  
RF-1000S  
PSC/PSK PSC RF MATCH  
PSK RF MATCH  
REPP(AE) 7622388010  
TRAZAR AMU2-1  
AMU2C-1  
AMU10D-1  
AMU10D-2  
AMU10E-2  
AMU10G-2  
RFDS-1  
RFS1-3  
SRN1-2  
ULVAC MBX-1305A  


修理可能品リスト ( DC電源 )

MANUFACTURER MODEL
AE MDX-1K 
MDX-10K
MDX-20K
MDX-L6
MDX-L12
MDX-L12M
MDX-L12-650
MDX-L18M
MDX-L HALO
ULVAC MDL1501A

お問い合わせページヘ

エイムのFacebookページ

エイムのGoogle+

エイムのNCネットワークページ

株式会社エイムはFacebook Google+
NC Networkに参加しております。

ISO14001,ISO9001

Copyright © 2004-2012. AIM CORPORATION. All Rights Reserved.