0428-31-6881
（平日：8:00~17:00)
溶接技術で未来をひらく - 切削加工・板金加工、そして溶接加工のスペシャリスト - 株式会社エイム
真空機器メンテナンス
真空機器メンテナンス
真空機器の精密洗浄
エイムの使命
精密洗浄した真空装置部品がお客様でそのまま使用できることがエイムの目指すメンテナンスです。
メリット
１．エイム独自のメンテナンス技術によりライフが安定します。
２．突然のトラブルが軽減されます。
３．計画的なメンテナンスによりお客様の生産性向上につながります。
廃棄物の取組み
洗浄で発生する有害な産業廃棄物は特別管理産業廃棄物として管理し委託処分を実施しております。
事業内容
・イオン注入装置部品洗浄・修理
・CVD装置部品洗浄・修理
・各種配管・トラップ洗浄
・各種バルブ洗浄修理
・真空ポンプ修理・真空配管設計
・製作・施工・冶具の製作
・金属加工・製作
洗浄品に伴う設備
メンテナンス 前工程用設備
●ドラフタ―
汚染物の除去も安全な環境で行います
●ドライブラスト機
・大型ブラスト機 Ｗ＝１８００ Ｈ＝１０００ Ｄ＝１０００
・前面開放で大物部品もブラスト可能です
●洗浄槽
・大型洗浄槽完備
・Ｗ２４００ＸＤ５５０ＸＨ２５０ｍｍの洗浄槽により配管等長物も洗浄可能です。
メンテナンス 後工程用設備
●超純水超音波洗機
・純水洗浄で汚染物の除去を行います
・最大 W１２００Ｘ D１２００Ｘ H２００のワークが洗浄可能です
●真空乾燥機
・クリーンな真空乾燥が可能
・大型乾燥機2台完備しております
●クリーンルーム
・ファンフィルターユニット2台によりクリーン度ＵＰ
・クリーンベンチ下クラス１０００でメンテ品の組立を致します
●リークディテクター
・リーク検査で安心してご使用いただけます
・専用チャンバー、治具を自社で設計、製作出来ますのであらゆる製品のリーク検査が可能です
設備情報
・集塵装置 2台 ・ドラフター3台 ・ブラスト装置4台 ・純水超音波洗浄システム 1台 ・クリーンベンチ（クラス1000） ・FFU 2台 ・ヘリウムリークディテクター 2台 ・超音波洗浄機 2台 ・真空乾燥機 2台 ・乾燥機 2台 ・エアシャワー ・簡易クリーンルーム
洗浄品 before after
メンテナンス事業部は主に半導体製造装置のメンテナンス
Assy部品洗浄を行っております。
お客様の生産向上とロングライフに貢献致します。
下記写真は洗浄品のbefore afterの一例です。
リークデテクターによる検査で、即取り付け使用可能です。
|
高真空バルブ
|
O/H前
|
 |
O/H後
|
| バルブの機種によりベローズ交換も可能です。 Oリングシールの交換も行い真空試験及び動作試験にて性能保証を致します
|
|||
|
引き出し電極
|
O/H前
|
|
O/H後
|
 |
|
 |
|
| 各部品の交換基準を元に管理致します
|
|||
|
イオン源
|
O/H前
|
|
O/H後
|
 |
|
 |
|
| フィラメントを始め各部品交換も可能 リーク検査済みで即使用可能です
|
|||
|
ターボポンプアダプター
|
O/H前
|
|
O/H後
|
| AL部品のリーク修理も可能です
|
|||
|
ソースマウンティング
フランジ |
O/H前
|
|
O/H後
|
| 水冷部水漏れ検査、シール面の仕上げも行います
|
|||
|
ターゲット
|
O/H前
|
|
O/H後
|
| 超純水の仕上げ洗浄を行いますのでパーティクル低減します
|
|||
|
ソースブッシング
|
修理前
|
|
修理後
|
| 放電痕、クラック修理で廃棄品も修理で使用可能となります
|
|||
真空ポンプ修理対応可能一覧 2014.12.11現在
ロータリーポンプ
| アルカテル ＲＰ | ULVAC ＲＰ | エドワーズ ＲＰ | 樫山工業 |
| 2005SD | D330D | E1M175 | KRS３５０ |
| 2010SD | D330DK | E2M18 | KRS９０１ |
| 2015SD | D650D | E2M40 | KRS１１００ |
| 2021SD | D650DK | E2M8 | KRS１３０１ |
| 2005I | D950D | E2M80 | KRS１８００ |
| 2010I | D950DK | ||
| 2015I | D950DKLTS | ||
| 2021I | EC403 | ||
| 2010C1 | EC603 | ||
| 2015C1 | EC801 | ||
| 2021C1 | EC803 | ||
| 2010C2 | VD401 | ||
| 2015C2 | VS2401 | ||
| 2021C2 | G100 | ||
| 2033SD | |||
| 2063SD | |||
| 2033C1 | |||
| 2063C1 | |||
| 2033C2 | |||
| 2063C2 | |||
| 2100 |
| メカニカルブースタポンプ | ドライポンプ |
| ULVAC ＭＢＰ | エドワーズ ＭＢＰ | 荏原製作所 ＤＲＹ | エドワーズ ＤＲＹ |
| PMB-001C | EH250 | A07V | QDP-40 |
| PMB-001CM | EH500 | A10S | QDP-80 |
| PMB-003C | QMB250 | A25S | DP-40 |
| PMB-003CM | ＱMB250F | A30W | DP-80 |
| PMB-006C | EH2600 | A70W | |
| ＰMB-006CM | 40＊20 | ||
| 50＊20 | |||
| 80＊25 | |||
| 150＊40 |
スクロール
| 岩田製（エドワーズ製） |
| ISP-250(ESDP12) |
| ISP-500(ESDP30) |
本リストにない機種でも対応が可能な場合がありますので確認ください。