真空装置

半導体向け真空装置の受託生産を行っています。

最高の品質水準を安定的に

厳格な品質管理のもと、社内一貫生産にて安定した品質を提供しております。
板金・切削・溶接・組立など、各工程を社内にて行うことで、最高水準で安定した品質を実現。
大物部品を加工する設備力、真空部品を加工する技術力、組立時に要する高い溶接技術、そして数多くの部品から組立てる生産管理能力。最高の品質水準を実現するために日々向上しています。

職人技が光る溶接技術

真空装置の製造工程において、強度の補強が必要となる溶接個所には、十分な配慮を行っています。
特にチタンやタンタル、モリブデンなど、いわゆる”溶接しづらい”金属での溶接技術が高い水準で求められます。
弊社では熟練した溶接工が、自社製の溶接治具を用いながら、一つ一つ丁寧に仕上げます。

真空装置の製造

グローブボックス

グローブボックスは、不活性ガスを充填させることにより、ボックス内の空気を極限まで抑える装置です。弊社では、研究室用や工業用などさまざまなシーンに対応し、幅広いニーズにお応えしています。
極めて毒性の高い装置にも対応しており、グローブを介して操作を行います。

　

真空チャンバー

真空チャンバーとは、容器内を真空にするための装置で、真空ポンプと共に使用されます。
弊社では、主に半導体分野に使用される真空チャンバーを製造しており、SS材やSUS、アルミ、チタンなどに対応しています。モリブデンやタンタルなどの材質も承ります。

　

ドラフト

ドラフトの製造を行っています。チャンバードラフト、ドラフターとも言います。
研究室用から工業等まで幅広い製造実績があります。
卓上用の簡易設置のものから、高レベルなドラフトまで製造致します。